세계 최대 반도체 노광장비(극자외선 이용 반도체 생산장비) 기업 네덜란드 에이에스엠엘(ASML)이 화성시 동탄에 2천400억원 규모의 첨단 극자외선(EUV) 클러스터 조성에 투자를 결정했다.

오병권 도지사 권한대행, 서철모 화성시장, 피터 베닝크(Peter Wennink) 에이에스엠엘 CEO, 이우경 에이에스엠엘 코리아 대표는 11월18일 화성시 석우동 ASML코리아에서 이런 내용의 투자협약을 체결하고 투자와 반도체부문 인재양성 등 지역 상생협력을 약속했다.

►왼쪽부터 서철모 시장, 피터 베닝크 CEO, 오병권 도지사 권한대행.

아울러 이날 행사에 문승욱 산업통상자원부장관, 이원욱 국회의원, 이은주 도의회 경제노동위원회 위원장, 황광용 화성시의회 기획행정위원장, 이창한 한국반도체협회 부회장이 배석했다.

ASML은 앞서 5월13일 산업통상자원부의 K-반도체 전략회의 행사에서 도내 에 투자계획을 밝혔다.

부품 재제조시설(리페어센터)과 교육센터(트레이닝센터), 체험관 등을 집적화한 클러스터 조성에 2천400억원을 투자할 계획이다.

►참석자들이 첨단 극자외선(EUV) 클러스터 유치 투자협약식에서 기념촬영하고 있다.

이에 따라 ASML코리아는 2024년 동탄2 도시지원시설 용지 1만6천㎡ 부지에 1천500명 수용이 가능한 클러스터에 입주할 예정이다.

아울러 교육센터 운영을 확대해 국내·외 장비전문가 교육은 물론 지역내 학생들을 대상으로 반도체 체험센터, 과학캠프, 산학연구지원 등 활발한 교육·연구지원 활동도 추진할 방침이다.

정부는 올해 5월 K-반도체 추진전략을 발표하면서 반도체 공급망 안정화 대책으로 단기간 추격이 어려운 최첨단 기술분야(노광, 식각, 소재) 적극 유치와 ASML 트레이닝센터 유치 중요성을 언급했다.

도와 시는 ASML코리아의 투자가 성공적으로 실행되도록 관련 인·허가 등 행정지원에 적극 협력하고, 산·학 연계 및 소부장 국산화 등을 지원키로 했다.

도는 2020년 6월 투자정책 혁신방향을 수립, 글로벌 반도체산업 유치에 집중하면서 같은해 12월 ASML코리아의 투자계획을 입수한 뒤 시와 협력해 동탄 부지를 제안하고 조기입주를 도왔다.

이 투자로 ASML코리아는 한국의 대규모 반도체 산업투자에 대응하기 위해 부품의 선순환 방식인 재제조사업을 확대, 도내 반도체분야 혁신 기업들과 협업을 강화할 전망이다.

베닝크 회장은 “한국은 1996년부터 ASML에 매우 중요한 시장이다. 이를 위해 트레이닝 센터와 재제조 센터, 지역기여가 강화된 클러스터 투자를 결정했다” 며 “한국 정부의 적극적인 협조에 감사드린다. 앞으로 관계를 이어 나가며 한국 반도체산업에 기여할 수 있기 바란다”고 말했다.

이에 오병권 도지사 권한대행은 “우리나라 반도체 대기업은 ASML사 매출에 상당부분을 차지하는 주요고객이다. 이 협약으로 뛰어난 기술력을 가진 도내 소부장 관련 중소기업과 협업이 더욱 활성화돼 제조업의 뿌리를 더욱 튼튼하게 할 것으로 기대한다” 며 “도는 ASML의 투자가 차질없이 진행되도록 지원을 아끼지 않겠다”고 밝혔다.

서철모 시장은 “특히 ASML 클러스터 유치는 지역 기여가 강화된 클러스터 조성에 큰 의미가 있다” 며 “관내 기업과 상생·발전할 수 있도록 시가 역할을 톡톡히 하고 세계 반도체 종합강국을 위한 건실한 토대를 닦겠다”고 밝혔다.

문승욱 장관은 “올해 5월 정부가 발표한 ‘K-반도체 전략’ 가운데 ASML 유치를 통한 반도체 공급망 안정화 과제가 투자로 실현돼 매우 기쁘다” 며 “향후 투자진행 과정에서 애로사항이 없도록 경기도, 화성시와 적극 협력하고 지원하겠다”고 말했다.

한편 1984년 네덜란드 벨트호벤에서 30명으로 창업한 ASML은 2021년 현재  세계 16개국에 3만명의 직원과 연간 19조원 매출을 기록하는 세계 최대 반도체장비 기업이다.

또한 ASML코리아는 1996년 화성시 석우동에서 반도체 장비엔지니어링 서비스를 통해 국내 주요 종합반도체기업에 노광장비를 제공하는 가운데 2019년 부품수리센터(재제조)를 국내에 개소했다.